微型動態(tài)壓力傳感器：技術(shù)特點及其性能優(yōu)勢有哪些？

來源：南京愛爾傳感發(fā)布時間：2020-05-08 14:01 瀏覽量：

　　微型動態(tài)壓力傳感器廣泛應(yīng)用于介質(zhì)壓力微弱的場合測量與控制，因為它具有良好的防潮能力及優(yōu)異的介質(zhì)兼容性，這只是它的性能特點之一，它還有更多優(yōu)勢被人們所喜愛，那么到底是什么優(yōu)勢呢?下面，小編就為大家簡單介紹一下。

微型動態(tài)壓力傳感器的技術(shù)特點：

　　1.小體積是其區(qū)別于一般工業(yè)、民用壓力傳感器的一個特點。這是由它的應(yīng)用場合決定的特性，在模型試驗、流場壓力測量、風(fēng)洞實驗、爆破、水利縮模實驗等應(yīng)用中，必須采用盡可能小的安裝尺寸和外形，通用的隔膜壓力傳感器，如電容式、充油的隔膜壓阻傳感器因其探頭尺寸最小也在25mm左右，長度60mm,這樣的尺寸對于上述應(yīng)用已無法滿足。

　　目前實驗中常用的硅壓阻式微型壓力傳感器，因其敏感元件尺寸小，利于微型化，長寬約1.5-4mm的圓形或方形單晶硅芯片經(jīng)過真空鍵合，金絲引線焊接，再用不銹鋼外殼微型封裝，經(jīng)過溫度補償和各項指標(biāo)篩選，可以得到直徑3--8mm,長度15-30mm的微型結(jié)構(gòu)尺寸，一般采用M5--M8的安裝螺紋。是目前應(yīng)用最為普遍的微型壓力傳感器。

　　2.微型壓力傳感器的動態(tài)特性：

　　動態(tài)壓力傳感器目前主要有壓電式傳感器、應(yīng)變式傳感器、硅壓阻式壓力傳感器三大類，壓電式傳感器是高頻測量效果最佳的傳感器，應(yīng)變式動態(tài)響應(yīng)稍差，前兩者均不易做到5mm以下微型化，而硅壓阻式壓力傳感器動態(tài)性能好，同時容易實現(xiàn)微型化封裝，具有廣泛的應(yīng)用前景。

　　硅壓阻式壓力傳感器的動態(tài)性能主要取決于其芯片的設(shè)計原理和生產(chǎn)工藝，動態(tài)壓力傳感器在芯片的設(shè)計和制造工藝上對動態(tài)指標(biāo)進行了優(yōu)化，這與普通工業(yè)用的傳感器芯片是不一樣的。

　　另一方面還受其封裝方式的影響，一般根據(jù)膜片的封裝分為齊平式封裝和帶導(dǎo)壓管的封裝方式。或者是帶有較短壓腔的準(zhǔn)齊平封裝。其最高可用頻率響應(yīng)可達400KHZ, 帶有管腔的傳感器也可達到3-10KHZ左右的使用頻率范圍。

　　傳感器的輸出信號再通過專用高頻信號放大器，可以輸出0-10V 0-5V 0-2.5v 等幅值的歸一化電壓信號，方便使用者采集處理。